광학
니오브산리튬 웨이퍼
리튬니오베이트의 고유한 높은 굴절률과 가시광선 및 적외선 투과율 조합을 사용하여 웨이퍼에 도파관, 변조기 및 센서를 만듭니다.
니오브산리튬은 화학적 및 열 안정성이 높은 다기능 재료입니다. 유리(1.5)에 비해 높은 굴절률(>2.3)은 도파관 설계를 위해 웨이퍼 형태로 제작할 때 넓은 시야를 가능하게 합니다.
니오브산리튬 웨이퍼
니오브산리튬 웨이퍼 제조 분야에서 10년 이상의 경험을 보유한 바카라 카지노에 의존하여 귀사의 정확한 요구 사항을 충족하는 웨이퍼를 제공하십시오.
재료 사양 |
|
재료 |
합동: LiNbO3 |
재료 품질 |
거품 또는 포함 <100 μm 수량 <8, 30 μm < 버블 크기 < 100 μm |
오리엔테이션 |
Y 컷 ±0.2° |
밀도 |
4.65g/cm3 |
퀴리 온도 |
1142 ±1℃ |
투명성 |
>450~700nm에서 10mm 두께의 경우 95% |
제작 사양 |
|
직경 |
150mm ± 0.2mm |
두께 |
350μm ± 10μm |
평탄성 총 두께 변화(TTV) 로컬 두께 변화(LTV) 활 거칠기 |
<1.3μm 워프 < 70μm @ 150mm 웨이퍼 <70μm @ 150mm 웨이퍼 Rq ≤0.5nm(AFM에 의한 RMS 값) |
표면 품질 |
40-20 |
입자 |
제거할 수 없는 입자: 100-200μm ≤3 입자, 20-100μm ≤20 입자 |
칩 |
<300μm(완전 웨이퍼, 배제 영역 없음) |
균열 |
균열 없음(풀 웨이퍼) |
오염 |
제거할 수 없는 얼룩 없음(풀 웨이퍼) |
병렬성 |
<30각초 |
방향 참조 평면(x축) |
47 ±2mm |
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