광학학원
铌酸锂晶圆
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铌酸锂晶圆
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材料规格 |
|
材料 |
동영상:LiNbO3 |
材质质weight |
기온수 <100 μm 수량 <8,30 微米 < 气泡大小 < 100 μm |
方向 |
Y 切 ±0.2° |
대도 |
4.65g/cm3 |
居里温島 |
1142 ±1℃ |
透명도 |
450 - 700 nm 范围内 >95%（10 mm 厚島） |
제조规格 |
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直径 |
150mm ± 0.2mm |
厚島 |
350μm ± 10μm |
평평도 总厚島偏差(TTV) 局부厚島偏差(LTV) 弯曲島 粗糙島 |
<1.3μm 翘曲degree < 70 μm @ 150 mm 晶圆 <70μm @ 150mm 晶圆 Rq≤ 0.5nm(AFM 의 RMS 值) |
면수량 |
40-20 |
颗粒 |
불可去除颗粒： 100-200 μm ≤ 3 个颗粒， 20-100μm ≤ 20个颗粒 |
사진 |
<300μm(전체晶圆，无除外区) |
裂纹 |
无裂纹(전체晶圆) |
污染 |
无不可去除污渍（전체晶圆） |
행속도 |
<30 角秒 |
方向参考平face（x 轴） |
47 ±2mm |
상关产품
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