Gepulste Laserabscheidung(PLD)

Nutzen Sie PLD, um mit unseren einzigartig leistungsstarken Excimerlasern schnell viele verschiedene Arten von Filmen zu erzeugen.

Stöchiometrische SchichtenVerlassen Sie sich auf unsere stable Excimerlaser, um stöchiometrische Schichten mit vollständiger Dickenkontrolle zu erhalten.
Schnellere AblagerungProduzieren Sie großflächige Filme schneller mit der hohen Pulsenergie unserer Excimerlaser.
Dreischicht-PLDDank der bewährten Betriebszeit und Zuverlässigkeit unserer Laser können Sie Ihre Produktion rund um die Uhr betreiben.

Vielseitige Ablagerung

Immer mehr Technologien und Branchen sind auf Dünnschichten angewiesen, 대담한 OLED-Bildschirme, MEMS, Halbleiter, Photovoltaik, medizinische Sensoren, Mobiltelefone und moderne Batterien. PLD ist häufig die Produktionsmethode der Wahl, da sie mit so unterschiedlichen Materialien wie diamantähnlichem Kohlenstoff(DLC), Perowskiten, Piezoelektrika und Hochtemperatursupraleitern(HTS) 내장 기능. 모든 diesen Fällen ermöglichen unsere Excimerlaser PLD mit hoher Geschwindigkeit, präziser Tiefenkontrolle und hochpräziser Stöchiometrie.

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Produktanwendungen

Supraleitender Draht/밴드

Nutzen Sie die hohe Leistung der LEAP-Laser für die kostengünstige, großvolumige Produktion von HTS-Draht und -Bändern.

슈퍼하드 DLC-Schichten

Erzeugen Sie mit LEAP-Lasern superharte DLC-Schichten bei niedrigen Thermaln und geringer Eigenspannung.

Fortschrittliches Solar

Entwickeln Sie Perowskit-basierte Gerätesysteme und andere Photovoltaiksysteme der nächsten Generation mit COMPex-Lasern.

HOCHFREQUENZ-PIEZOFILTER

PLD mit Excimerlasern ermöglicht Piezoelektrisches Scandium-dotiertes Aluminiumnitrid(Sc: AlN)-Dünnschichten für HF-Filter, die die for 5G und darüber hinaus erforderliche Piezo-Antwort- und Hochfrequenzeigenschaften liefern.

Dünnschicht-Wafer

PLD mit Excimerlasern kann komplexere und kristallinere Dünnschichten auf größeren(bis zu 300mm) Wafern zur Verwendung in MEMS, Halbleitern, Photovoltaik und OLED-Bildschirmen herstellen.

Festkörper-Dünnschichtbatterien

PLD liefert fortschrittliche Festelektrolyte, einschließlich Anoden- und Kathodenmaterialien, mit einstellbarer Dichte und Stöchiometrie sowie Dickengenauigkeit im Nanometerbereich.

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PLD: von der Laborforschung bis zur vollständigen Produktion

Sehen Sie, wie durch Excimerlaserabscheidung hochwertige Schichten entstehen.

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WIR STELLEN VOR: DEN COMPEX F2. DER LEISTUNGSSTAERKSTE VUV-LASER AUF DEM MARKT

PLD – 제품

COMPex

COMPex UV-Laser liefern Hunderte von Millijoule Pulsenergie mit hoher Puls-zu-Puls-Stabilität und hervorragender Strahlgleichmäßigkeit für anspruchsvolle Anwendungen.

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도약

LEAP UV 엑시머-레이저 bieten hohe Energie, hochpräzise Bearbeitung mit unserer Kombination aus hoher Einschaltdauer, Zuverlässigkeit und niedrigen Betriebskosten.

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LAMBDA SX

LAMBDA SX sind industrielle UV-Excimer-Laser für den Produktionsbereich mit stablen Hochenergiepulsen, die eine großflächige UV-Bearbeitung mit Strahlstabilität unterstützen.

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Erfolgsgeschichte

UNIVERSITät AUGSBURG

"Dieser 248-nm-Excimerlaser hat sich für die PLD vieler verschiedener Oxide bewährt und bietet die Strahlhomogenität und hohe Puls-zu-Puls-Stabilität, die wir für aussagekräftige 정량 Studien benötigen."

- 헬무트 칼(Helmut Karl), 독일 아우크스부르크 대학교 물리학 연구소 교수

메흐 레센

동영상 스포트라이트:

Hochleistungs-Excimerlaser für Dünnschichtanlagen bei Solmates, Enschede

Mit Hilfe von Hochleistungs-Excimerlasern der LEAP 시리즈, entwickeln Arjen Janssens und seine Kollegen bei Solmates in Enschede, Niederlande, eine 혁신적인 Anlage zur gepulsten Laserabscheidung die eine Schlüsselrolle bei der Entwicklung zukünftiger Chipdesigns und der Integration neuer Dünnschichtmaterialien spielen 야생. Erfahren Sie mehr über Lasertechnologie in der Dünnschichtindustrie.