KUNDENERFOLGSGESCHICHTE
Excimerlaser ermöglicht gepulste Laserabscheidung von Dünnschichten für Pilot- und Großserienproduktionen
Die Herausforderung
Techniken zur gepulsten Laserabscheidung dünner Schichten werden in einer Vielzahl von Märkten in Bereichen wie MEMS, Halbleitefertigung, Photovoltaik, OLED-Bildschirme und RF-Filter for 5G-Kommunikation eingesetzt. Neue komplexe Materialsysteme mit zunehmend kritischen Materialeigenschaften erfordern eine ständige Erweiterung und Qualitätsverbesserung von Technologien zur gepulsten Laserabscheidung dünner Schichten. 따라서 Soll ein breiteres Spektrum von Verfahren zur Bearbeitung dieser Schichten unterstützen und gleichzeitig Flexibilität bei der Prozessoptimierung ermöglicht werden. Solmates, ein auf die gepulste Laserabscheidung (PLD) spezialisiertes Unternehmen mit Sitz in Enschede, Niederlande, hat sich zum Ziel gesetzt,robuste und benutzerfreundliche Anlagen für die wachsende Dünnschichtindustrie zu entwickeln.
디 뢰성
Das Team bei Solmates wendet ein Verfahren für die gepulste Laserabscheidung an – eine Methode derphykalischen Gasphasenabscheidung – die auf Excimer-Laserlicht basiert, um Materialien mit komplexer Stöchiometrie auf leitenden und nicht-leitenden Substraten 압주샤이덴. Ihre Systeme bieten die volle Kontrolle über die Abscheidungsparameter, was eine Manipulation der endgültigen Dünnschichteigenschaften wie Zusammensetzung, Kristallinität, Dichte, Porosität und Filmspannung ermöglicht. Auf diese Weise können Hersteller von Dünnschichten elektrische und optische Eigenschaften erreichen, die mit anderen Abscheidungstechnologien nicht möglich sind, und sogar neue Materialsysteme und Anwendungsbereiche erschließen. Die LEAP-Excimerlaser Serie von 바카라 카지노 wurde von Solmates aufgrund ihrer Kombination aus hoher Energie(bis zu 1 Joule pro Puls) 및 skalierbarer Leistung(80 bis 300 W) ausgewählt. Diese bestimmt den Durchsatz bei der gepulsten Laserabscheidung. Darüber hinaus haben sich LEAP-Laser in der industriellen Anwendung als durchgehend zuverlässig bewährt. Sie minimieren die Kosten pro Wafer in anspruchsvollen Produktionsumgebungen mit hohen Stückzahlen.
다스 에르게브니스
Heute können die PLD-Plattformen von Solmates in jeden Standard-Cluster-Rahmen integriert werden, um sowohl die Produktion im Pilotmaßstab als auch in großen Stückzahlen zu unterstützen. Das Aufkommen hochwertiger Verfahren zur gepulsten Laserabscheidung auf Industriewafern mit einer Größe von bis zu 300 mm ermöglicht es industriellen Kunden, ihre Möglichkeiten zur Dünnschichtabscheidung zu erweitern und etwa 30 neue Materialien und Materialsysteme ihr Abscheidungsportfolio aufzunehmen에서.
"Excimerlaser von 바카라 카지노 sind das Herzstück unserer PLD-Systeme"
— Arjen Janssens, CEO, Solmates, Enschede, Niederlande
