UV 레이저 시스템
LTPS, LLO, LIFT, PLD, LA-ICP-MS 등을 위해 완벽한 광학 시스템으로 당사의 고에너지 UV 에너지를 최대한 활용해 보세요.
- 수직 통합수명이 긴, 광학적 및 추가로 위험을 피하고 잠시 휴게를 즐기십시오.
- 입증된 장비고 재미있는 모바일 디스플레이를 만드는 것과 동일한 기술을 사용할 수 있습니다.
- UV 처리 옵션193, 248, 308 nm 시스템과 157 또는 351 nm 옵션을 선택해 주십시오.
UV 공정위에 대한 제공
UV 레이저 및 광학 시스템 분야에서 50년의 경험을 통해 당사는 엑시머 제어를 관리하고, 성형 및 포커싱하는 문제를 이해하고 있습니다. 핵심적 통합으로 인해 가장 가까운 표준에 따라 완전한 시스템 설계, 제조 및 조립됩니다.
UV트랜스퍼
UVtransfer 시스템은 계수 microLED 디스플레이 생산에 대한 응용 분야를 지원합니다.
- 높은 처리량 - 고에너지 엑시머는 넓은 필드 크기를 지원합니다.
- 미래를 대비 - 50에서 5 µm까지의 다이 크기를 처리합니다.
- 연구 개발에서 수량을 생산하는 것에 대해 공정한 의견을 세울 수 없습니다.
라인빔
LineBeam 엑시머 UV 레이저를 사용하면 최대 백율로 대형 유틸리티 패널에서 먹기 폴리실리콘(LTPS)플레인을 많이 생산할 수 있습니다.
- 뒷라인 - 최대 1500mm.
- 균질성 - 0.6%(2σ).
- 초점 크기 - 최대 ±150 µm.
UV블레이드
UVblade 엑시머 레이저는 라인 길이 및 에너지 구체화에서 높은 확장성을 지닌 비용 효율적인 LLO 솔루션을 제공합니다.
- 균질성 - 1.8%
- 초점 크기 - 최대 ±200 µm.
- 펄스 에너지 - 최대 2000mJ.
엑시머 손잡이 광학
높은 에너지, 단편 UV 및 고출력의 고유한 조립에 최적화된 엑시머 핸들링을 개선한 광기계 도구 출력.
- 빔균질화 - <± 5% 플루언스 변동.
- 가변 감쇠 - 오로지 에너지 제어.
- 마스크 이미지 때문에 - 4-10X 축소.
바리오라스
VarioLas 엑시머 UV는 강력한 COMPex 엑시머를 기반으로 하는 라인 수축 또는 수축 방식의 고품질 UV 수신을 수신할 것입니다.
- 에너지 있게 - 최대 7.5J/cm².
- 다목적 및 조정 가능성 - 선 또는 강도.
- 광학 때문에 - ≥ 5 µm.
GeoLasGC
GeoLasGC 엑시머 UV 시스템은 193nm, 고성능 고성능 믹서 및 하이브리드 ICP-MS를 HD 카메라 CCTV 시스템을 결합하는 시스템입니다.
- 광학 때문에 - 1 µm.
- 가변 샘플링 스폿 - 2 ~ 160 µm.
- 펄스라는 - 1%(rms).
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