고객 성공 스토리
Excimer PLD, 향상된 태양전지를 위한 우수한 필름 생성
도전
태양전지 및 기타 광전자 장치는 모두 장치 호환 증착 방법을 갖춘 기능성 박막 재료 개발의 이점을 누릴 수 있습니다. 여러 유형의 태양전지에서 주요 과제 중 하나는 장치의 민감한 층(예: 할로겐화물 페로브스카이트 태양전지의 유기 접촉층) 위에 투명 전도성 전극을 증착하는 것입니다. 이 문제는 일반적으로 무기 완충층을 사용하여 극복됩니다. 트벤테 대학의 Monica Morales-Masis가 이끄는 연구팀은 펄스 레이저 증착(PLD)이 버퍼가 없는 반투명 페로브스카이트 태양 전지용 고품질 투명 전극을 제작할 수 있는지 여부를 조사했습니다. (저손상 증착 외에도 웨이퍼 기반 PLD는 태양광 전지 응용 분야의 요구 사항입니다.) 다행스럽게도 바카라 카지노의 248nm KrF 엑시머 레이저는 재현 가능하고 확장 가능한 PLD를 위한 이상적인 구현 솔루션을 제공했습니다.
해결책
248nm의 고펄스 에너지 엑시머 레이저를 활용하여 4인치 웨이퍼에서 PLD를 수행한 이 그룹은 할로겐화물 페로브스카이트 태양 전지 위에 투명 전도성 산화물(TCO) 필름을 재현 가능한 증착하는 방법을 성공적으로 시연했습니다. Morales-Masis는 "PLD는 복잡한 압전 재료 등을 위한 기술로 이미 잘 정립되어 있습니다. 우리는 현재 스퍼터링 증착(현장에서 일반적으로 사용됨)과 적어도 동등한 확장성과 증착 속도가 절대적인 요구 사항인 태양 전지 재료에 대한 기술을 탐색하고 있습니다.COMPex 레이저 – 펄스 간 에너지 안정성과 빔 균질성은 모두 필름 균일성과 엄격한 레이어 두께 제어를 제공하는 데 필수적입니다.”
TCO 필름을 만들기 위해 Morales-Masis 팀은 TSST(Twente Solid State Technology)의 PLD 시스템을 사용합니다. 여기서 엑시머 레이저 빔은 고체 대상 위에서 앞뒤로 휩쓸려 증착 중에 연속적으로 회전하는 원형 플랫폼에 장착된 기판에 증착할 재료를 제거합니다. 이는 4개의 태양전지 기판을 포함하는 홀더 위에 균일한 필름 증착을 보장합니다.
결과
높은 증착 압력 및 실온 PLD로 생성된 Zr 도핑 In2O3 TCO 필름을 통해 15.1% 전력 변환 효율을 갖춘 반투명 할로겐화물 페로브스카이트 태양 전지의 시연이 가능해졌습니다. 이는 무버퍼 스택에서 입증되었으며, '낮은 손상' 증착 기술로서 PLD의 잠재력을 확인했습니다[1]. 그룹은 이제 추가 PLD 이점인 다중 화합물 재료의 화학양론적 전달을 활용하기 위해 할라이드 페로브스카이트[2]의 PLD에 대한 조사를 시작하고 있습니다. 용매 없이 넓은 영역에 걸쳐 몇 분 만에 이러한 할로겐화물 페로브스카이트 필름을 생성할 수 있는 능력은 미래의 태양 전지 생산에 유망합니다.
[1] Y. Smirnov 외. DOI:
[2] V. Kiyek 외. DOI:
"바카라 카지노 엑시머 레이저의 높은 펄스 간 안정성은 넓은 영역에 걸쳐 균일한 펄스 레이저 증착을 가능하게 하는 중요한 기능입니다."
— Assoc. 네덜란드 트벤테 대학교 Monica Morales-Masis 교수
