Lasermaschinen und Systeme
바리오라스
Systeme auf Basis des leistungsstarken COMPex Excimer-Lasers sind 유연한 Werkzeuge für die hochwertige UV-Mikromaterialbearbeitung mit einem Linienstrahl oder einer Quadratischen Strahlfeldform.
최적의 광학 설계, 강력한 기계 장치 및 엑시머-레이저가 더 나은 Puls-zu-Puls-Stabilität liefern präzise Ergebnisse. Zu den Anwendungen gehören die Laser-Schichtseparation(LLO), die Dotierstoffionenaktivierung, die ablative Strukturierung und das Dünnschichtglühen.
VarioLas – Wichtige Leistungskennzahlen
Mit der hohen (bis zu 7,5 J/cm2) Energiedichte und 100Hz Pulswiederholfrequenz von VarioLas erhalten Sie präzise Abtrags- oder Materialmodifikationsergebnisse.
Produktspezifikationen
매개변수 |
바리오라스 에코 |
VarioLas 프로 |
VarioLas Sweep |
펠드폼 |
Quadratisch |
Quadratisch |
리니에 |
Feldgröße (mm2) |
2 x 2 |
2 x 2 |
50 x 0,6 |
Optische Auflösung(μm) |
30 |
5 |
– |
