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레이저 기계 및 시스템

바리오라스

강력한 COMPex 엑시머 레이저 기반 시스템은 라인 빔 또는 사각형 빔 필드 형태를 사용하여 고품질 UV 미세 가공을 위한 유연한 도구입니다.

뛰어난 광학 설계, 견고한 역학, 탁월한 펄스 간 안정성을 갖춘 엑시머 레이저가 정밀한 결과를 제공합니다. 응용 분야에는 LLO(레이저 리프트 오프) 분리, 도펀트 이온 활성화, 절제 패터닝 및 박막 어닐링이 포함됩니다.