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레이저 기계 및 시스템

바리오라스

강력한 COMPex 엑시머 레이저 기반 시스템은 라인 빔 또는 사각형 빔 필드 형태를 사용하여 고품질 UV 미세 가공을 위한 유연한 도구입니다.

뛰어난 광학 설계, 견고한 역학, 탁월한 펄스 간 안정성을 갖춘 엑시머 레이저가 정밀한 결과를 제공합니다. 응용 분야에는 LLO(레이저 리프트 오프) 분리, 도펀트 이온 활성화, 절제 패터닝 및 박막 어닐링이 포함됩니다.

VarioLas – 일부 핵심 성능 측정항목

VarioLas의 높은(최대 7.5J/cm2) 에너지 밀도와 100Hz 펄스 반복 주파수로 정확한 절제 또는 재료 수정 결과를 얻으세요.

 

제품 사양

매개변수  

VarioLas Eco 

VarioLas Pro 

VarioLas Sweep 

필드 모양 

사각형  

사각형  

라인  

필드 크기(mm2) 

2 x 2 

2 x 2 

50 x 0.6 

광학 분해능(μm) 

30 

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