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레이저 기계 및 시스템

UV블레이드

UVblade는 308nm UV 광자를 사용하여 LLO(레이저 리프트 오프) 프로세스를 통해 견고한 유리 캐리어에서 섬세한 폴리머 기반 디스플레이를 부드럽게 분리합니다. 

LLO는 플렉서블 디스플레이 제조에 있어 중요한 단계입니다. UVblade는 LLO를 위한 비용 효율적인 솔루션을 제공합니다. 높은 광학 효율성 외에도 UVblade는 공정 최적화를 위한 라인 길이 및 에너지 밀도의 광범위한 확장성을 제공합니다.

UVblade – 일부 핵심 성능 측정항목

UVblade가 제공하는 탑햇 라인 빔 균질성(1.8%, 2σ) 및 큰(±200미크론) 초점 심도를 통해 넓은 프로세스 창과 최대 수율의 이점을 누릴 수 있습니다.

 

제품 사양

UV블레이드 모델

UV블레이드 380

UV블레이드 750

UV블레이드 1250

레이저 펄스 에너지(mJ)

580  

1000/2000(고전력 모델) 

2000  

반복률(Hz)

200 

600 

600 

빔 길이(mm)

380 

750 

1250