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레이저 기계 및 시스템

라인빔

LineBeam 시스템은 최대 수율로 대형 기판 패널에서 LTPS 백플레인을 대량 제조할 수 있는 광학 기술입니다. 

최대 10.5세대 패널 크기에 대해 최대 1500mm 길이의 라인 빔 프로필을 제공합니다. 최대 처리량 및 빔 활용도를 위해 단축 및 장축 빔 동질성이 특징입니다. 뛰어난 펄스 안정성과 높은 피사계 심도로 넓은 프로세스 창을 보장합니다.

LineBeam – 일부 핵심 성능 측정항목

308nm 또는 355nm의 단파장에서 짧은 축과 장축 모두에서 우수한 균질성을 갖춘 LineBeam의 탑햇 빔 프로필의 이점을 누리세요.

 

제품 사양

매개변수

줄 길이(mm)

750 

1000 

1300

1500

빔 프로필 유형 

두 축을 따라 있는 모자 

초점심도(μm)

±150 

±120

±120 

±120

장축 균질성(%)

0.6 (2σ) 

짧은 축 균질성(%)

0.8 (2σ)