레이저 기계 및 시스템
라인빔
LineBeam 시스템은 최대 수율로 대형 기판 패널에서 LTPS 백플레인을 대량 제조할 수 있는 광학 기술입니다.
최대 10.5세대 패널 크기에 대해 최대 1500mm 길이의 라인 빔 프로필을 제공합니다. 최대 처리량 및 빔 활용도를 위해 단축 및 장축 빔 동질성이 특징입니다. 뛰어난 펄스 안정성과 높은 피사계 심도로 넓은 프로세스 창을 보장합니다.
LineBeam 시스템은 최대 수율로 대형 기판 패널에서 LTPS 백플레인을 대량 제조할 수 있는 광학 기술입니다.
최대 10.5세대 패널 크기에 대해 최대 1500mm 길이의 라인 빔 프로필을 제공합니다. 최대 처리량 및 빔 활용도를 위해 단축 및 장축 빔 동질성이 특징입니다. 뛰어난 펄스 안정성과 높은 피사계 심도로 넓은 프로세스 창을 보장합니다.