激光系统
라인빔
LineBeam 系统是一种支持性光학技术,适用于는大型基板上大规模 Manufacturer造 LTPS 背板,良率极高。
为高达 Gen 10.5 의 표면은 1500mm 의 线光束轮廓입니다.具有为实现产能과光束利用率最大化而设计的长短轴光束同质性. 이 결과는 매우 큰 의미를 갖습니다.
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