UV 激光器系统
우리는 LTPS, LLO, LIFT, PLD, LA-ICP-MS 등을 사용합니다.
- 垂直整합使用我们寿命极长的激光器、光school器件 and机械，避免风险并享受全天候运行。
- 久经验证的工业工具依靠成就高性能移动显示屏의 친척입니다.
- 紫외광波长选项从 193、248 과 308 nm 系统以及自組义 157 或 351 nm 选项中进行选择。
将我们的专业知识应用于紫外激光工艺
凭借紫外激光器와光系统领域 50 연간 经验,我们了解管理, 成型和聚焦准分子光束方face的挑战。得益于垂直整信，我们设计, 조제화组装的完整系统能够满足严苛的标准。
UV트랜스퍼
UVtransfer 激光器系统支持生产下一代 마이크로 LED 显示屏 的专用应用。
- 高吞吐weight - 高能weight准分子激光器支持大型场尺寸。
- 면向未来 - 可处理从 50 µm 一直到 5 µm 的芯文尺寸。
- 从研发到批weight生产的三个成套工艺解决方案。
라인빔
LineBeam 准分子紫外激光器有助于는 大型基板上大规模硅硅(LTPS) 背板，良率极高。
- 长线光束 - 高达 1500mm。
- 고도均匀 - 0.6% (2σ)。
- 大焦深 - 高达 ±150 µm。
UV블레이드
UVblade 准分子激光器为 LLO提供了一种经济高效解决方案, 线长道와能能能能密密多方案有较高 의 光 率 과 广泛 의 可扩 性 을 보장 합니다 .
- 고도均匀 - 1.8%
- 大焦深 - 高达 ±200 µm。
- 높은 脉冲能weight - 높은 2000mJ입니다.
准分子光束传输광학부 件
获取用于准分子光束传输的卓越적광학机械工具，针对高脉冲能weight、短紫外光波长와高功率的独特组合进行了优化。
- 均匀光束 - <± 5% 총량变화。
- 可变衰减 - 精确的能weight控控 조절.
- 掩膜图image投影 - 4-10 倍的缩倍.
바리오라스
VarioLas 准分子紫外线激光器基于功能强大的 COMPex准分子 激光器 ， 适 于对线光束或 方形 光束场shape 状进行 高质weight紫 Outdoor 光微加工。
- 중량률높음 - 높음 7.5J/cm²。
- 多功能且可调节 - 线或방형변형轮廓。
- 고광학분리 - ≥ 5 µm。
GeoLasGC
GeoLasGC 准分子激光剥蚀系统融합체 193nm高脉冲能덩어리, 高性能极化显微镜 및 高清摄 영상 头观测等众多功能特性, 于实现激光剥蚀 ICP-MS。
- 고광학분자 - 1μm。
- 可变样本点 - 2 - 160 µm。
- 높은 만족률 - 1%(rms)。
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