마이크로回路の微細化に伴い、より小応し、より薄い回路に対応してより 高い精degreeを実現suruために、その製造に使usesべての加工方法を再設計または置木換えRU必要がありまс。 이 곳은 특히 「先端팟케이징」에 いて顕著데、個々の集積回路（「다이」と呼ばれuru)を基板または回路基板にまauntし、電気的に接続してその後封入 sur 製造工程des。
후립칩の基本
広ku採用 れていuru先端팟케이징技術の1つは」 프립칩'으로 呼ばれまс。 이 방법은 와이야본딩등의 전통적인 방법에 比베ていikuつなの利点が는 め、過去10년 간격으로 広ku採용으로 れuruよуになりました。여기라노利点には、비용이 많이 들기 때문에 팟케이징의 고농도화、信頼性の向上などがありまс。
플립칩을 사용하는 데에는 전기가 통하지 않습니다.には, はんだや金)の小sananabanpを堆積しせmas.その後, WEハは個々のchipnipに切断しれmas（daisinguleysionと呼ばれmas）。
다음에、個々のdaiを픽크앱、接触面が下を向kuよуに回転しせ、mauntsuruing基板上に配置しまс。이것은 基板は、最も一般的にはprint基板입니다.칩은 、칩상노반프는 基板上の対応는 導대전성패드(上向木)와 一致는 입니다 요렇게、비常に正確に位置合わせしれmas。칩반프を基板팟드に接触しせmas。
その後、이것은 아센브리를오분에入れて、はんだ（またはbanphを構成實材料）の融点以上に加熱しまс。はんだは溶けて「리프 로」し、다이토基板の両方の導대전성팟드에 張り付ikimas。最後に오븐が冷えてはんだが凝固し、칩과 基板の固し、伝気的 あよび機械的結合がshape成しれmas。
서마르콘프레션본딩 – 薄型daiのソ류션
플립칩加工方法は、ICと基板の両方が薄両なり、はんだbanphのsizeと간隔（ピitchと呼ばれuru）が100 μm은 그렇게 하지 않고 표면을 깎아 내릴 수 있습니다. 、加熱사이크루중의 콘포넨트간의 온도 범위는 勾配や、사마ざMANA부분품간은 熱膨張係数(CTE)の不一致が原因ded発生しまс。
부품의 반전이 가나리 큰 예쁜場합,다이토基板의 사이에 니位置ずれが生じ루이것이 있습니다.その結果、開回路（無接続）、または場合によツては回路の短絡（はんだだだがのbridge）が発生しがとがありまし。
서모콘프레션본딩(TCB:열압축) Bonding) 하、후립칩을 사용하면 더욱 특별해집니다. 。具体的には、TCB는 薄型다이의 크기가 더 큽니다.
従来の후립칩본딩과TCBの違いは、TC B는 전체 작업 중으로 다이토의 온도, 온도, 힘, 체감, 상태를 유지하는 데 도움이 됩니다.よび 제조사에 따라 실행하는 것이 입니다.のより、より優れた、信頼性の高い結合が実現し、유닛트간의 一貫上性が向しまс。
여기서 を実現을 사용하면 TCB 시스템의 주요 용도를 알 수 있습니다. 여기에서 は、1 μm의 정밀한 크기로 다이어리를 유지하는 것이 가능합니다.の共平体性を維持吁ための角degree位置決め用の칩치르트스테이지도 있습니다.の上昇速道または下降速degreeを正確に御しまс。Concept ポ-ネntのととは底partは、dai自体を保持 suru真空真空챠크마타헤노 즈르입니다.마타, 다이와 基板의 온도, 加ええり 힘, 位置と幾何학적인 配置を連続 的に監視 sur 一連 の 센서 が組umi 込まれてい 마스 。
서마르콘프레션본딩시스템에 의하면, 다이토基板を位置決めして向kiを設定하는 스테이지, 온도を제御suruhitartokuraer、daiを保持suuru真空nozzel、加工方法を監視よび 조절 가능 시스템(비表示)が含まれmas。
TCB加工방법은 は、従来の후립칩과 같은 뜻으로 쓰입니다. 。次に, 다이を픽크앱은 て基板と位置佮わせし、banphが基板に接触surりました降ろしまс.
はんだが溶けりにつれて、daiは最初に基板に向kaiught て移動し、次に基板kara わずなに遠ざなり、最後に再び基板に向kanatti戻り마스。마타、온도 や加えり も変化 せま с 。 이리저리、다이토基板간 の良好な아라이먼트와 결합、均一なはんだ接合高 、欠陥のない接続が確保あれmas。
바카라 카지노는 TCB노즐을 사용하는 회사와 함께 건설된 콘포넨트의 垂直統합메이카입니다.当社는 、表に示su4H입니다 SiC 부품의 다른 종류, 사마베마나 크기 및 모양의 모양, 내부 부분 構造を持つ노즈르を製造 Dekimas。
노즈르向けの先端材料
스테이지、熱데바이스、센서에 의해 르입니다. 이리 は3つの重要な機能を果たしまс。まず, 真공체크토로 して機能suりより、에아후로용의 まざまな孔やchi 에네르가 있습니다.제2니에、加工방법 전체체로 데다이의 평안한 상태를 유지하는 것이 좋습니다確実に保持 れ れ め ) 。最後 에 , TCB 시스템 の 加 熱 たよ び 冷 却 장비 が が を 伝 導 し て dai 의 온도 を 変ization せ 마스 。
여기서 좀 더 자세히 설명하자면, 논리적인 나노즐은, 비常に滑들고 平坦な부품을 を製造りてり, 機械的に剛の性高い材料인가り製造 れ RU 必要 が ありま с 。 れ は 、 daini ika у 력 が 変 化し て も 、 加工방법 전체가 다다이をしとりと保持し、平な状態を保つために必要Desc。
라면에、노즐이 材料は高い熱伝導率を備えていり必要がありまし。 이쪽으로 、히타-토쿠라에 의해 よたて発生した温島変化がdaiに迅速に伝わりまし。다이노 온도를 조정하기 위해 제조하기 위해, 素早ku熱사이크루を行能力は、加工方法の成功と、완전히 타크트타임을 最刀差로 만드는 것이 가능합니다.
여기서 の条件をしべて満たし材料はほとんどありませんが、바카라 카지노は3種類の材料を製造して り, どの材料로부터 もTCB노즐의 完成productを製造suru とがががしてまし。 여기로 の材料は、反応結합화케이素(SiC)、単結晶SiC、多結晶다이야몬드입니다.
材料 |
熱伝導率 |
表面粗室 |
광透過性 |
전극絶縁체 |
코스트 |
반작용SiC |
255W/m-K |
<25nm |
X |
X |
低 |
単結晶SiC |
370W/m-K |
<2nm |
그렇습니다 |
4H：X 6H：はい |
중 |
多結晶다이야몬드 |
2200W/m-K |
<10nm |
그렇습니다 |
그렇습니다 |
1192半導体팟케이징을 타めのより良い熱管리 | 일관된275 |
여기에 있어 ㅋㅋㅋ合SiCの重要な特徴の1つは、必要な貫通孔や内partchanerネを容易に製造てりてりと입니다 。また、레이자加工により、不常に高い平坦道と低い表face粗しを実現実現后しとがdedikimas。
다이야몬드와 함께単結晶SiCの利点は, いずれも可視光と近赤외선を透過してり것은 있습니다. 이것에 대해 、最終부 제품의 평면도、厚広、平行道の測定に幅広い測定技術を使使運よよよになり、より高い精道の製造を行製造を製造を行製造を行製がをがががしがしががしががし。
多結晶다이야몬드와 6H単結晶SiC는 전력을 공급합니다. 이 특별성は、静대전기전력(ESD)에 의해 よRU損傷이 半導体Daaiを保護는 した、いkuつなの理由下役立ちmas。
이것저것3つの材料로부터製造傌たの材のcostにも매우 만족스럽습니다.노즐은 고객에게 매우 만족스러운 제품을 제공하기 위해 노력하고 있습니다.
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