파르스레이자성설이라니?
파르스레이자성설(PLD)は、まざまな基板にしまざまな薄膜を堆積しせ루ために使用れ마스.에키시마레이자의 높은 에네르기와 短波長により, 比類なki成膜速射と、組成成に優れた高quality質な膜が得Raれmas。
파르스레이자성채(PLD)は、真공하데基板上に薄膜を蒸着suuru물리적성성장법(PVD)입니다.PARS레이자성업膜(PLD)は、레이자파르스を타게 ttet材料に 光射して気化 せ、気化した物質の프룸を生成 も の 입니다.の気化した物質の프룸を基板に当てuruと、凝縮して薄膜がshape成しれmas。
에키시마레이자は、その高い파르스에네르기が研究로부터 weight産ままり適した薄膜成長率を実現suruため、多kuのparsleyzas成膜（PLD) 용途ded選択 れていりザ입니다. また、이 紫외선 레이자 の 高い光子 에네르기 は、あま ゆ RU 材 料 と 比類 な 木 膜 の chemistry weight論的組成(스토이키오메트리)を可能にし、多可能にし、多可能にし、多䁁な要件となたとなたたなしまс。
화학량은 얼마나 큽니까?
파르스레이자성설(PLD)에 오케루화학량론적 組成の重要性は、타 겟트材料の組成으로 蒸着膜の望ましい組成に関係しまс.化학적인 組成とは、화합물에 의해 含まれりの比率の이것으로、蒸着膜の特性を決 설정이 가능합니다. 특별하게 を持つ膜を得ruために、ta-ゲett材料の元の化학용량論的組成が膜中下로維持傌uru必要がありまс。
타토에바, 타게트材料がTiO2のよуな酸chemicalの場合、蒸着膜もTiO2그렇다고 해서 화학량이 커질수록 발전하는 데에 도움이 되고, 타게트의 화학량은 더 커질 수 있습니다.타겟트가 됩니다.1.5O2.5다음과 같은 화학적 성질이 매우 중요합니다.
파르스레이자성설(PLD)에 OTAけRULUCITY 論的組成の重要性は、蒸着膜の組成や特性を제조하는 것이 가능하므로, 사마자마는 전용으로 특별히 결정되었습니다.
화학량론적 파르스레이자성설(PLD)에 의해 타게트와 같은 じ組成の薄膜の曲成.
에키시마레이자 - 高foton에네르기、高훌루엔스
파르스레이자성설(PLD)데,타겟트材料의 화학량론적 구조에 대해 레이자에네르기토 훌루엔스(単位face積あたりに 光射しれRU레이자에네르기의 무게) 자노에네르기야후르엔스を調整suru는 이것으로, 蒸着膜の微細構造や모르포로지특이성을 を特定の要件に件わせて調整 시키는 것은 입니다 。에키시마레이자は、幅広い레이자에네르기토후르엔스에 その両方を正確に御御御ががががザは、바카라 카지노の에키시마레이자 は、独自の高parsuEnergiyе、最速の蒸着速degreeを実現しまс。
多様な用途の拡大
優れた成組成と高い成膜速島は、多層高温超電導（HTS)테이프에 必要product質を備えた希土類바류 무銅酸화물(REBCO)膜を만드는 방법은 에키시마베이스의 파르스레이자성채(PLD)が唯一実証しれた大weight生産방법으로 あ主なり由ides입니다.
しまし、PARS레이자성설膜(PLD)には、광학코팅、전자크트로니크스데바이스、바이오메디칼사용薄膜の 作成 など、他にも幅広い 重要な用途がありま 입니다.광학코팅으로は、파르스레이자성채(PLD)を使用して特定の屈折率を持つ薄膜を蒸着이 방법으로, 광을 특정하는 방법으로 작업을 할 수 있습니다. 레크트로니크스데바이스를 사용하기 위해서는 시리콘 등의 半導体材料の薄膜を成膜하기 위해서 파르스레이자성설(PLD)을 사용하시기 바랍니다.
마타、光を検출・발광하는 포토닉 데바이스의 전면전極とな루透명명전성酸화물질(TCO)薄膜の製造にも、parsleyza成膜(PLD)は不常に有効DES。
마타、파르스레자성설膜(PLD)は바이오메디카르분노にも応用しれてり、医療使는 인프런트나 데바이스에 사용하기 위한 용도로 사용하기가 좋습니다. 치탄 등의 인프란트材料에, 骨のMinerarru成分に近い生体適佐料ハaru idrokisiapatiteをparsre ―ザ成膜(PLD)ded成膜 것은 とがし、骨の成長を促進し、인프란트の生体適合性を高めりとがdedkimas。
他の方法はどとしょуな。
파르스레이자성체(PLD)は、その応用範囲の広 に加え、他の薄膜shape成技術と比較していkuつなの利点がありmas.parsleyza成膜(PLD)は、結晶性の良い高quality質な薄膜を成膜を成膜がががががががががががががががが高い成膜速道成膜徴がが下特徴をまた、parsleyza成膜(PLD)は、膜の組成や微細構造を高itude 에 의해 제조되는 것은 が可能多 이며, 특별 조정의 所望の特性を持つ薄膜を작성하는 것은 ための貴貴重 tur 가 되고 있습니다 .
샐러니, 파르스레이자성膜(PLD)は, 金属, 세라믹스, 포리마등, 사마ざmana基材に成膜備りを備えてい마스 。 이 汎用性により、parsleyza成膜（PLD）は幅広い産業や用途ded使uses 루이토가데키、材料科schoolや工schoolの研究にいて重要なツーрとなたていまс。
파르스레이자성설(PLD)の実用上の課題とは?
파르스레이자성설(PLD)の課題として、레이자광원、타겟트材、真공챠바등、専用の装置が必要なとが挙挙げしれまし。 이 비용은 특별히 비용이 많이 들기 때문에 一partの産業下はparsreyza成膜 (PLD) の普及が晐及が晐及が完限悌 り り ま し 。
파르스레이자성설(PLD)のもу1つの課題は、prosesno 複雑레이자에네르기야후르엔스, 타게트의 화학량론적 결합, 基板温도등, 望ましい膜特性を得uruためには、suべてを注意深 iku 제조하기 쉬운 것은 좋습니다. 그렇지 않으면, 一part の研究者 や me er に 와 て 파르스레이더 성찬 膜 (PLD) を 活 用しに ku い 場 が ありま с 。
파르스레이자성체(PLD)の底력
이것저것 た課題にもkankagararず、파르스레이자성膜(PLD)は、薄膜の成膜技術として広利用利価値のあり技術下り続けていまし。특정の所望の特性を持つ高quality質の膜を成膜否め、Samaざまな産業や用途ded要ツ-rpとなたていまс。
要約suuruと、파르스레이자성설膜(PLD)は特定の所望の特性を持つ薄膜を成膜는 めの要な技術 입니다.を成膜 것은 能powerは、材料科schoolや工schoolの研究、光schoolco-ting、Electroniksdebay 스, 바이오메디칼등의 幅広い薄膜産業用途の開発に役立つツーрとなたたていまс。