엑시머 레이저
마이크로 전자공학, 디스플레이, 과학 연구, 의학 및 박막 처리에 고에너지 UV 펄스를 활용하십시오.
- 대규모 필드 크기 처리균질한 넓은 면적의 평평한 상단 빔으로 샘플 표면을 덮습니다.
- 확장 가능한 UV 전력사전 생산부터 대량 생산까지 전력 수준을 조정합니다.
- 궁극의 정밀도저온 박막 가공에서 선택적으로 레이저 에너지를 증착합니다.
가장 광범위한 엑시머 레이저 포트폴리오
엑시머 레이저 분야에서 50년의 경험을 바탕으로 우리는 귀하의 응용 분야에 맞는 엑시머 레이저를 사용하면 최상의 결과를 얻을 수 있다는 것을 알고 있습니다. 이것이 바로 우리가 우수한 품질과 성능을 갖춘 가장 광범위한 레이저 출력 및 에너지 옵션을 제공하는 이유입니다.
엑시스타
ExciStar 탁상용 UV 엑시머 레이저는 각막 절제, 처방 렌즈 마킹 및 광학 센서 제조를 포함한 섬세한 작업을 위해 설계되었습니다.
- 높은 반복률 - 최대 1kHz.
- 탁상형 - 650 x 300mm 설치 공간.
- 193 nm 또는 248 nm - 정밀 마킹 및 절제.
인디스타
IndyStar 레이저는 잉크젯 노즐 드릴링, 계측 및 광학 테스트와 같은 빠른 펄스 응용 분야를 위해 설계된 견고한 높은 듀티 사이클 UV 엑시머 레이저입니다.
- 높은 펄스 속도 - 연중무휴 애플리케이션에서 최대 2kHz.
- 세미콘 애플리케이션 - Semi-S2 규격.
- 193 nm 및 248 nm - 리소그래피 개발, 마스크 및 광학 테스트, 마이크로 프로세싱.
COMPex
COMPex UV 레이저는 까다로운 응용 분야에 대해 높은 펄스 간 안정성과 탁월한 빔 균일성을 통해 수백 밀리줄의 펄스 에너지를 제공합니다.
- 고에너지 - 수백 밀리줄.
- 파장 다양성 - 193 nm, 248 nm 308 nm, 351 nm.
- 박막 처리 지원 - 웨이퍼 처리, 펄스 레이저 증착.
도약
LEAP UV 엑시머 레이저는 높은 듀티 사이클 출력, 신뢰성 및 낮은 소유 비용을 결합하여 고에너지, 고정밀 가공을 제공합니다.
- 다양한 전력 수준 선택 - 동일한 플랫폼이 최대 600와트의 대량 제조, 사전 제작 및 개발을 지원합니다.
- 펄스 온디맨드 - 펄스 패턴을 프로세스 흐름에 맞게 조정하여 운영 비용을 최소화합니다.
- 다용도 - 펄스 레이저 증착, 미세 구조화 또는 디스플레이 처리를 위한 193nm, 248nm 및 308nm 모델 중에서 선택하세요.
람다 SX
LAMBDA SX는 생산 현장을 위한 산업용 UV 엑시머 레이저로, 빔 안정성으로 대면적 UV 처리를 지원하는 안정적인 고에너지 펄스를 갖추고 있습니다.
- 고전력 - 최대 600와트.
- 높은 펄스 에너지 - 최대 1000mJ.
- 높은 맥박수 - 최대 600Hz의 3교대 대량 생산.
바이퍼
VYPER 킬로와트부터 멀티 킬로와트까지의 UV 엑시머 레이저 플랫폼은 대량 디스플레이 생산을 위한 최고의 처리량을 제공합니다.
- 매우 높은 전력 - 최대 3600와트.
- 매우 높은 펄스 에너지 - 펄스당 최대 6줄.
- 탁월한 에너지 안정성 - OLED 및 MicroLED 백플레인 처리를 지원합니다.
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