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激光器

인디스타

IndyStar 关键性能指标概述

193 nm 에서 248 nm 下运行, 复频率高达 2 kHz, 功率高达 12 W。 

型号name称 波长(nm) 脉冲频率上限(Hz) 脉冲能weight上限(mJ)  功率上限 (W)
인디스타 1kHz 193 1000 8 8
인디스타 2kHz 2000 4
인디스타 1kHz 248 1000
12
12
인디스타 2kHz 2000 6