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레이저

인디스타

193~248nm 정도에서 최대 2kHz 반복 속도 용도에 맞게 제한할 수 있는 확장 가능한 엑시머를 확장합니다.

신뢰성, 생활 편의성 및 제어를 제공하는 생산 라인 도구. IndyStar는 잉크젯 제거 드릴링, 재능 및 광학 테스트에 모두 사용됩니다. 사진마스크 검사 및 관련 사용자를 사용하기 하기 Semi-S2 호환.

주요 IndyStar 성능 특징 개요

최대 2kHz의 반복률에서 작동하며 최대 12W의 전력을 공급합니다. 

모델명 파장(nm) 최대 크기(Hz) 최대 에너지(mJ) 최대 출력(W)
인디스타 1kHz 193 1000 8 8
인디스타 2kHz 2000 4
인디스타 1kHz 248 1000
12
12
인디스타 2kHz 2000 6