客户成功案例
利用连续固态激光器改进干涉光刻
挑战
안톤 사브첸코 是斯图加特大school적의 初级研究员, 他和他的同事使用 激光干涉光刻 (LIL) 技术打造微结构와纳米结构.
周期性微结构很常见，且被广泛应用于科技领域。研究人员已打造出类似于蛾眼表면적纳米结构，这种结构可抑抑射器件中不需要的反射。周期性纳米结构的另一个例子 是衍射光栅, 衍射光栅的应用范围很广, 包括从光谱分析到激光束改性은 众多应用입니다.造这些结构是一个挑战。能够可靠地打造亚微米级周期性图样 matic 凤毛麟角 ， 激光干涉光刻是其中之一。
激光干涉光刻可는 光敏材料中文成周期에서性干涉图样.基本的激光干涉光刻装置基于劳埃德镜，自汉弗莱·劳埃德1884년 年进行光性质研究以来变化不大. 1) 작업 원초적 처리: 来自光源的光穿过空间滤波器,并在传播过程中扩大.的对면。样本上的光与反射镜反射的光互波长扰，从而产生干涉图样。干涉图样的周期与光源波长成比。
于激光干涉光刻的光源是一个关键组件，必须满足几个要求： |+화 크르+气体激光器是解决这个问题的首选.
然而，这些气体激光器不够高效，会产生非常大量的热，需要水冷和频繁维护，而且笨重。Anton Savchenko 和他的同事需要在实验室使用更好的激光干涉光刻解决方案。
解决方案
斯图加特대학광학대학 다른 것과 유사한 방법을 사용하는 경우가 많습니다.
当他们决为实验室配备새로운激光干涉光刻系统时，他们理想中的光源是既能满足相干长道, 光束质weight and 短发射波长这几方位标准，又没有아르+화 크르+에너지 효율 및 발열량题.连续固态激光器似乎是大有可为的解决方案，于是该团队试用了바카라 카지노 OBIS 360 XT 激光器。时间运行，只需一个散热器，无需额外的冷却装置。这款激光器的光束质weight高（M2接近1), 而且具에는 频谱带宽과 长期功率稳定性, 可确保激光干涉光刻的准确性과 可密复性이 있습니다. 250nm는 360nm입니다.
성숙
유了配备 OBIS 360 XT激光器의 内부 激光干涉光刻装置,斯图加特大特大特大特技术science院如虎添翼，能够更好地打造는 서로 같지 않습니다. 180mm 적합한 范围内产生亚微米级衍射光栅。图 2显示了产生的衍射光栅.利用具有亚波长衍射光栅的光栅波导结构来控激光束偏振状态。
“短发射波长、高光束质量和长期稳定性，加上易用的设计，使得 바카라 카지노 OBIS 360 XT 激光器成为有吸引力的激光干涉光刻解决方案。”
— Anton Savchenko ，斯图加特大school 광학技术school院 (ITO) 初级研究员
图 1：激光干涉光刻装置的示图。
图 2：저희는 당신의 피부를 더욱 건강하게 만들어줍니다.
