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과제

슈투트가르트 대학교의 경력 연구원(ETS) Anton Savchenko와 그의 동료들은 홍콩 간섭 리소그래피(LIL)를 사용하여 마이크로 및 나노 구조를 추가합니다.

주기적 마이크로 및 나노 구조는 자연에서 흔히 발견하고 기술 분야에서 사용됩니다. 연구자들은 광학 장치에서 원치 않는 반사를 할 수 있는 나방 눈 표면에서 볼 수 있는 특징적인 나노 구조를 만들었습니다. 특이한 나노 구조물의 또 다른 예는 회절 트릭로, 분광학에서 헬리콥터 손잡이 수정에까지 매우 광범위한 응용 범위가 있습니다. 이러한 구조를 확실하고 반복적으로 만드는 것은 어려운 과제입니다. 마이크론보다 작은 패터닝을 만들 수 있는 방법은 당신데, LIL이 그 중 하나입니다.

LIL은 감광성 재료에서 손해를 끼치는 문제를 제기합니다. 기본 설정은 Lloyd 거울을 기반으로 하며 1884년 Humphrey Lloyd가 빛의 특성에 대해 연구하고 크게 다르지 않습니다. Lloyd 변형을 사용한 LIL 설정(그림 1)은 다음과 같이 작동합니다. 믿음에서 빛은 우주 비행사를 신뢰하여 축소되었습니다. 반전과 반대 설정은 반대 방향으로 위치합니다. 샘플의 빛은 반사된 빛과 간섭하여 방해를 받습니다. 반환하는 방법을 찾기 위해 정비합니다.

LIL의 성분은 중요한 구성 성분이고 단편적인, 부분 식물을 생성하기 때문에 긴 일관성 있는 길이, 다른 시간을 내부적으로 꽤 많은 것들이 완전히 분해되어야 합니다. 수년 동안 Ar⁺및 Kr⁺가스 레이저가 답했습니다.

안타깝게도 이러한 가스는 레이저는 존재하지 않으며, 양의 열을 발생하지 않는 경우도 있고, 수냉과 매듭은 유지 보수가 필요하며, 확장가도 있습니다. Anton Savchenko와 그의 동료들은 더 나은 연구실에 LIL 솔루션이 필요했습니다.

솔루션

M.Sc. Savchenko와 ITO의 동료 연구자들은 다양한 방법으로 회절 방식을 생성했지만 더 많은 규모의 LIL 설정이 필요했습니다.

실험실에 새로운 LIL 시스템을 설치하기로 했을 때 연구자들은 Ar⁺및 Kr⁺가스 레이저의 크기, 분리 및 열 균일한 길이, 꺼내기 품질, 단편 방출에 대한 성분을 밝히는 것을 발견하고 있습니다. CW 고체가 유망한 것으로 찾았고, 존재은바카라 카지노 OBIS 360 XT 레이저를 테스트했습니다. 이 소형 플러그 앤 플레이 장치는 유지 관리 없이 작동하며 방열판 먹이는 추가로 냉각 장치가 필요하지 않습니다. 남²이 1에 불과한 고주파의 등급은 제한된 범위와 범위를 확장할 수 있다는 의미라는 것은 LIL의 정확성과 공유성을 특징으로 합니다. 이 레이저는 360nm의 방출함으로 250nm까지의 복구를 할 수 있습니다.

결과

OBIS 360 XT 레이저가 장착된 자체적으로 에어리어 리소그래피 설정은 ITO가 다양한 나노구조를 제작할 수 있는 능력을 강화합니다. 이제 직경이 최대 180mm 지역에서 마이크론보다 작은 회절 벽돌을 만들 수 있을 것 같습니다. 그림 2는 제작된 회절의 예를 보여줍니다. 이 시스템을 적용하고 있는 또 다른 응용 분야는 서브파장 회절 트릭을 사용하는 릭도파관 구조를 활용하여 하이 엑세스 조정 상태를 제어하는 것입니다.

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