E&R: Modernes Wafer-Ritzen mit 바카라사이트 가입-Femtosekundenlasern

Die Herausfor바카라사이트 가입ung

Die E&R Engineering Corp. (mit Sitz in Kaohsiung City, Taiwan) wollte eine Ritzmaschine der nächsten Generation zur Vereinzelung von Miniatur-Chips mit Abmessungen von weniger als einem Millimeter entwickeln. Kevin Chang, Vertriebs- und Servicemanager bei E&R, erläutert: „Da die Gesamtabmessungen einiger Logikchips immer kleiner werden, wird der Ritzprozess technisch anspruchsvoller. Unsere Kunden müssen Tausende dieser Chips aus einem einzigen Wafer ritzen, ohne auf breite Bahnen zurückgreifen zu können. Daher muss der Ritzprozess präzise und relativ schonend sein, um thermische oder physikalische Schäden an den eng beieinander liegenden Chips zu vermeiden, die sich negativ auf die Ausbeute auswirken könnten. Aber die zugrunde liegende Wirtschaftlichkeit diktiert auch die Notwendigkeit einer schnellen Durchsatzgeschwindigkeit."

Das 1994 gegründete Unt바카라사이트 가입nehmen liefert leistungsstarke automatisierte Maschinen für verschiedene Branchen, darunter Halbleiter, LEDs, passive Komponenten und medizinische Geräte. Das Unt바카라사이트 가입nehmen hat sich mit Servicezentren in den USA und mehreren Standorten in Südostasien heute als erfolgreicher globaler Anbieter dieser High-End-Maschinen etabliert, von denen viele auf der Nutzung von 바카라사이트 가입n basieren. (Zu den weiteren Technologien in ihrem Portfolio gehören Plasmabehandlung sowie mechanische Stanz- und Pressmaschinen.) 

Ihre ersten 바카라사이트 가입maschinen waren auf die 바카라사이트 가입beschriftung ausgerichtet; heute jedoch unterstützen sie alle Arten von Anwendungen für die Mikromaterialbearbeitung wie Bohren, Schneiden, Ritzen und Nuten. Zu diesen Maschinen gehören zahlreiche 바카라사이트 가입herent 바카라사이트 가입 und Pow바카라사이트 가입Line-바카라사이트 가입beschrifter mit Wellenlängen vom UV bis zum IR-Bereich und mit Pulseigenschaften von Nanosekunden bis hinunter zu Femtosekunden. 

Die Lösung

Chang führt aus, dass das Vereinzeln von Wafern aus mehreren Mat바카라사이트 가입ialien aufgrund der unterschiedlichen beteiligten Mat바카라사이트 가입ialien sowie der Gesamtdicke normalerweise ein zweistufiger Prozess ist. Er fügt hinzu: „Der wichtigste erste Schritt besteht darin, das Metall (Kupfer) auf der Rückseite des Wafers mit einer Art 바카라사이트 가입 sauber zu durchtrennen. Hier stellt die Wärmeeinflusszone (WEZ) ein großes Problem dar.“ Er erklärt, dass nach diesem Ritzschritt dann ein zweiter Prozess verwendet wird, um den Großteil des Wafers von der Vorderseite her zu durchtrennen. Ein Diamanttrennblatt war dafür ein Standardarbeitsgerät, aber kleinere Chips erfordern oft etwas anderes, z. B. das Plasmaätzen.“

Die Wärmeeinflusszone (WEZ) ist der Bereich neben einem 바카라사이트 가입schnitt oder -ritz, wo das Material auf irgendeine Weise thermisch modifiziert (z. B. geschmolzen, umgewandelt oder verbrannt) wird. Im Fall der Vereinzelung von Logikchips besteht ein Hauptrisiko darin, dass jede WEZ die Schaltung beschädigen und ihre Funktion beeinträchtigen könnte. Glücklicherweise kann die WEZ durch Verwendung kürzerer 바카라사이트 가입pulse minimiert werden, bei denen der größte Teil der 바카라사이트 가입pulsenergie durch das abgetragene Material abgeleitet wird, bevor es in das umgebende Substrat fließen kann.

Eine große Frage für E&R war daher: Welcher 바카라사이트 가입typ soll für die Bearbeitung der neuesten kleinen Chips verwendet werden? In der Vergangenheit mussten sich Maschinenbauer zwischen einem 바카라사이트 가입 mit hohem Durchsatz, wie einem Infrarot- oder grünen Nanosekunden-Faser바카라사이트 가입, und einem 바카라사이트 가입 mit ultraniedriger WEZ, wie einem Ultrakurzpuls바카라사이트 가입 (USP), entscheiden. Während USP-바카라사이트 가입 mit Pikosekunden-Pulsbreiten zuvor gut für diese Anwendung geeignet waren, führte der Trend zu kleineren Chips zu einem Bedarf an noch kleineren WEZ, d. h. einem Femtosekundenlaser.

Bis vor kurzem gab es für Femtosekundenlaser jedoch drei Einschränkungen für diese Art von Anwendung; Sie waren nur mit begrenzter Leistung verfügbar, hatten eine fragwürdige Zuverlässigkeit/Lebensdauer und die Kosten pro Watt waren zu hoch. Die neuesten 바카라사이트 가입 바카라사이트 가입 von 바카라사이트 가입herent verwenden jedoch eine leistungsskalierbare Fasertechnologie, um diese Probleme mit einer Leistung von bis zu 60 Watt in einem kompakten, robusten Paket erfolgreich anzugehen. Und nach sorgfältiger Prüfung, so Chang, hat sich E&R entschieden, seine Wafer-Ritzmaschinen der nächsten Generation wie die WB-300FGS mit einer Auswahl von 20 W- oder 30 W-바카라사이트 가입-Modellen anzubieten. 

Das 바카라사이트 가입gebnis

Chang erklärt, dass E&R 바카라사이트 가입 vor allem ihre K바카라사이트 가입en mit den bereits erzielten Ergebnissen der 바카라사이트 가입herent 바카라사이트 가입 바카라사이트 가입 sehr zufrieden sind. Er ergänzt, dass ihre WB-300FGS-Maschinen die Galvo-Ritztechnologie verwenden, um die 바카라사이트 가입schneidgeschwindigkeit zu maximieren. Die Kombination aus hoher Leistung und hoher Wiederholungsrate des 바카라사이트 가입 (bis zu 50 MHz) ermöglicht es ihnen, diese Funktion voll auszuschöpfen, während das Werkzeug eine Ritzgeschwindigkeit für einen Arbeitsdurchgang von bis zu 5 m/s erreicht. Wichtig ist, dass diese Maschinen auch eine sehr hohe Genauigkeit (3 µm) bieten, dank der Benutzer High-End-Wafer verarbeiten und gleichzeitig die Anforderungen an eine sehr schmale Schnittbahn erfüllen können.

Chang nennt die kurze Pulsbreite 바카라사이트 가입 die hervorragende Strahlqualität als die beiden kritischsten Parameter. Dank dieser Merkmale liefern die neuen E&R-Maschinen problemlos Einzeldurchlauf-Ritzungen mit Breiten von <30 Mikron 바카라사이트 가입 Ritzungen mit mehreren Durchläufen im Bereich von 30 bis 60 Mikron.

Er fasst zusammen: „Bei Anwendungen mit Mikromaterialbearbeitung für hochwertige Wafer haben wir uns einen Ruf als Lieferant von Maschinen mit Premiumqualität, die sich durch Innovation und hohe Leistung auszeichnen, hart erarbeitet. Und 바카라사이트 가입 bietet dies sicherlich auch in all diesen Bereichen."

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