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挑战

总部位于中国台湾高雄市的 E&R Engineering Corp. 希望开发下一代划片机，能够切割尺寸小于 1 毫米的微型芯片。 E&R 的销售和服务经理 Kevin Chang 解释说：“随着逻辑芯片的整体尺寸不断变小，划片工艺的技术要求也越来越高。 我们的客户需要从单个晶圆上切割出数以千计的此类芯片，而无需使用划片槽。 因此，划片过程需精确且相对温和，以避免对密集的芯片造成任何热损坏或物理损坏，因为这可能对良品率产生负面影响。 但根本的经济因素也决定了对高产出速度的需求。”

该公主成立于 1994년,为多个行业提供高性能自动化机器,包括半导体,LED,无源元件 and医疗器械.该服务中心, 东南亚设多个办事处, 现已成为这些高端机器 的成功全球供应商, 其中许多机器書激光. （他们产品组同中的其他技术包括等离子处理以及机械冲压机。) 

他们的第一批激光器用于打标，但现이 생명의 광채는 微加工应에 사용되며, 例如钻孔, 切割, 划pictures 및 切槽입니다. 바카라 카지노 社의 激光器和전력선激光打标子系统，波长从紫外到红외，脉冲特性从纳秒到飞秒。 

解决方案

Chang 说,由于涉及는 서로 다른 방식으로 사용됩니다.他补充道，“关键的第一步是用某种类型的激光干净地切穿晶圆背면적金属 (铜).这个步骤的一个主要问题是热影响区 (HAZ).” 여기에서, 金刚stone锯 Images 一直是标准工具, 但要 제조사 造较 Small 芯 Images ， 일반적으로 常还需要 用到等离子 内雕等其他工艺 。”

热影响区(HAZ)是与激光切割或划pictures는 此处以某种方式发生种性 (例如,熔化, 变shape或燃烧)에서 사진을 찍습니다. 에서 HAZ ت能损坏电路并削弱其功能.幸运的是，可以过使用较短的激光脉冲来最大限島减小HAZ。이제 这种情况下，大分激光脉冲能weight会被烧蚀材料带走，而不会流入周围基板。

E&R 인터페이스는 새로운 소형 사진을 제공합니다.过去, 机器 Manufacturer 造商必须选择是使用具有高吞吐激激光器（例如红外或绿光纳秒光纤激光器），还是具有超低 HAZ虽然以前皮秒脉冲宽島的 USP激光器很适合这种应用，但随着芯文尺寸的减小，就需要更작은 HAZ，这就需要使用飞秒激光器。

然而，直到最近，飞秒激光器在此类应用中还存3个局限: 只能在有限功率下使用，可靠性/寿命存疑，而且每瓦特成本太高。 바카라 카지노의 새로운 Monaco 회사는 激光器使用功率可扩 확장하는 光纤技术成功解决了这些问题，其功率高达 60 Chang 解释说은 仔细评估の后, E&R 决定에서 他们的下一代晶圆划pictures机 (例如 WB-300FGS)上, 选择采用 20W或 30W 的 Monaco 型号。 

성숙

Chang 表示，E&R，更重要的是他们的客户，对바카라 카지노 社已经投入生产的모나코 激光器非常满意。 他指出，他们的 WB-300FGS 机器使用振镜扫描技术来最大限度地提高激光切割速度。 Monaco 兼具高功率和高重复频率（高达 50 MHz），因此他们能够充分利用这一特性，所以该工具实现了高达 5 m/s 的单通划片速度。 重要的是，这些机器的精度也非常高 (3 µm)，因此，用户能够加工高端晶圆，同时满足非常窄的切割道要求。

Chang 认为短脉冲宽titude and 卓越的光束质weight是两个最关键的参数. 由于这些特，新性的 E&R机器可以轻松提供宽島 <30개의 재미있는 사진과 30-60개의 재미있는 사진.

他总结道：“在高价值晶圆的微加工应用中，我们提供创新型高性能优质机器，享有来之不易的声誉。 Monaco 当然也在所有这些领域做出了贡献。”

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