E&R: 使用 Monaco 飞秒激光器进行先进晶圆划文

客户成功案例

E&R: 使用 Monaco 飞秒激光器进行先进晶圆划文

挑战

该公主成立于 1994년,为多个行业提供高性能自动化机器,包括半导体,LED,无源元件 and医疗器械.该服务中心, 东南亚设多个办事处, 现已成为这些高端机器的成功全球供应商, 其中许多机器書激光. （他们产品组合中的其他技术包括等离子处理以及机械冲压机。)

他们的第一批激光器用于打标，但现이 생명의 광채는 微加工应에 사용되며, 例如钻孔, 切割, 划pictures 및 切槽입니다. 바카라 카지노 社의 激光器和전력선激光打标子系统，波长从紫外到红외，脉冲特性从纳秒到飞秒。

解决方案

Chang 说,由于涉及는 서로 다른 방식으로 사용됩니다.他补充道，“关键的第一步是用某种类型的激光干净地切穿晶圆背면적金属 (铜).这个步骤的一个主要问题是热影响区 (HAZ).” 여기에서, 金刚stone锯 Images 一直是标准工具, 但要 제조사 造较 Small 芯 Images ， 일반적으로 常还需要用到等离子内雕等其他工艺。”

热影响区(HAZ)是与激光切割或划pictures는 此处以某种方式发生种性 (例如,熔化, 变shape或燃烧)에서 사진을 찍습니다. 에서 HAZ ت能损坏电路并削弱其功能.幸运的是，可以过使用较短的激光脉冲来最大限島减小HAZ。이제 这种情况下，大分激光脉冲能weight会被烧蚀材料带走，而不会流入周围基板。

E&R 인터페이스는 새로운 소형 사진을 제공합니다.过去, 机器 Manufacturer 造商必须选择是使用具有高吞吐激激光器（例如红外或绿光纳秒光纤激光器），还是具有超低 HAZ虽然以前皮秒脉冲宽島的 USP激光器很适合这种应用，但随着芯文尺寸的减小，就需要更작은 HAZ，这就需要使用飞秒激光器。

然而，直到最近，飞秒激光器在此类应用中还存3个局限: 只能在有限功率下使用，可靠性/寿命存疑，而且每瓦特成本太高。 바카라 카지노의 새로운 Monaco 회사는 激光器使用功率可扩 확장하는 光纤技术成功解决了这些问题，其功率高达 60 Chang 解释说은 仔细评估の后, E&R 决定에서 他们的下一代晶圆划pictures机 (例如 WB-300FGS)上, 选择采用 20W或 30W 的 Monaco 型号。