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도전

E&R Engineering Corp.(대만 가오슝 시 소재)은 1밀리미터보다 작은 치수의 소형 다이를 싱귤레이션할 수 있는 차세대 스크라이빙 기계를 개발하고자 했습니다. E&R의 해외 판매 및 서비스 관리자인 Kevin Chang은 "일부 로직 칩의 전체 크기가 계속 작아짐에 따라 스크라이빙 프로세스가 기술적으로 더 까다로워지고 있습니다. 우리 고객은 넓은 거리를 사용하지 않고 단일 웨이퍼에서 수천 개의 다이를 다이싱해야 합니다. 따라서 스크라이빙 프로세스는 수율에 부정적인 영향을 미칠 수 있는 좁은 공간의 다이에 대한 열적 또는 물리적 손상을 방지하기 위해 정확하고 상대적으로 온화해야 합니다. 그러나 근본적인 경제성도 필요합니다. 처리 속도가 빠릅니다.”

1994년에 설립된 이 회사는 반도체, LED, 수동 부품 및 의료 기기를 포함한 여러 산업에 고성능 자동화 기계를 제공합니다. 미국, 유럽 및 동남아시아 여러 지역에 서비스 센터를 두고 있는 이 회사는 이제 대부분 레이저를 기반으로 하는 반도체 IDM 제조업체를 위한 고급 기계의 성공적인 글로벌 공급업체로 확고히 자리 잡았습니다. (포트폴리오의 다른 기술에는 플라즈마 처리, 기계식 펀치 및 프레스 기계가 포함됩니다.) 

첫 번째 레이저 기계는 마킹을 목표로 삼았지만 오늘날에는 드릴링, 절단, 스크라이빙 및 홈 가공과 같은 모든 종류의 미세 가공 응용 분야를 지원합니다. 이러한 기계에는 수많은 바카라 카지노 레이저가 포함됩니다.전력선UV부터 IR까지의 파장과 나노초부터 펨토초까지의 펄스 특성을 지닌 레이저 마커입니다. 

해결책

Chang은 복합 재료 웨이퍼 다이싱은 관련된 재료와 전체 두께가 다르기 때문에 일반적으로 2단계 공정이라고 말합니다. 그는 "핵심 첫 번째 단계는 레이저를 이용해 웨이퍼 뒷면의 금속(구리)을 깔끔하게 절단하는 것"이라며 "여기서 가장 우려되는 부분은 열영향부(HAZ)"라고 덧붙였다. 그는 이 스크라이빙 단계 후에 두 번째 공정을 사용하여 전면에서 웨이퍼의 대부분을 절단한다고 설명합니다. 다이아몬드 톱날은 이를 위한 표준 도구였지만, 다이가 작을수록 플라즈마 에칭과 같은 다른 것이 필요한 경우가 많습니다."

열 영향부(HAZ)는 재료가 어떤 방식으로든 열적으로 변형(예: 용융, 변형 또는 연소)되는 레이저 절단 또는 스크라이브에 인접한 영역입니다. 다이싱 로직 칩의 경우 가장 큰 위험은 HAZ가 회로를 손상시키고 그 기능을 손상시킬 수 있다는 것입니다. 다행스럽게도 레이저 펄스 에너지의 대부분이 제거된 재료가 주변 기판으로 흘러 들어가기 전에 제거되는 짧은 레이저 펄스를 사용하면 HAZ를 최소화할 수 있습니다.

따라서 E&R에 대한 큰 질문은 - 최신 소형 다이 작업에 어떤 유형의 레이저를 사용해야 합니까? 과거에는 기계 제작자가 적외선 또는 녹색 나노초 파이버 레이저와 같이 높은 처리량이 가능한 레이저와 USP(초단 펄스) 레이저와 같이 HAZ가 매우 낮은 레이저 중에서 선택해야 했습니다. 이전에는 피코초 펄스 폭을 가진 USP 레이저가 이 응용 분야에 적합했지만 더 작은 다이로의 추진으로 인해 훨씬 더 작은 HAZ, 즉 펨토초 레이저가 필요하게 되었습니다.

그러나 최근까지 펨토초 레이저에는 이러한 유형의 응용 분야에 세 가지 제한 사항이 있었습니다. 제한된 전력으로만 사용할 수 있었고 신뢰성/수명이 의심스러웠으며 와트당 비용이 너무 높았습니다. 그러나 바카라 카지노의 최신 Monaco 레이저는 전력 확장이 가능한 광섬유 기술을 사용하여 작고 견고한 패키지에 최대 60와트의 전력으로 이러한 문제를 성공적으로 해결합니다. 그리고 신중한 평가 끝에 Chang은 E&R이 20W 또는 30W Monaco 모델을 선택할 수 있는 WB-300과 같은 차세대 웨이퍼 스크라이빙 기계를 제공하기로 결정했다고 설명합니다. 

결과

Chang은 E&R, 그리고 더 중요하게는 고객이 결과에 매우 만족한다고 말합니다.바카라 카지노 모나코 레이저이미 생산 중입니다. 그는 WB-300 기계가 갈보 스캐닝 기술을 사용하여 레이저 절단 속도를 최대화한다고 지적합니다. Monaco의 높은 출력과 높은 반복률(최대 50MHz)의 조합을 통해 이 기능을 완전히 활용할 수 있으며 이 도구는 최대 5m/s의 단일 패스 스크라이빙 속도를 달성합니다. 중요한 것은 이 기계가 매우 높은(3μm) 정확도를 제공하여 사용자가 매우 좁은 톱 레인 요구 사항을 충족하면서 고급 웨이퍼를 처리할 수 있다는 것입니다.

Chang은 가장 중요한 두 가지 매개변수로 짧은 펄스 폭과 뛰어난 빔 품질을 언급합니다. 이러한 기능 덕분에 새로운 E&R 기계는 폭이 30미크론 미만인 단일 패스 스크라이브와 30~60미크론 범위의 다중 패스 스크라이브를 쉽게 제공합니다. 

그는 다음과 같이 요약합니다. "고가치 웨이퍼를 위한 미세 가공 응용 분야에서 우리는 혁신과 고성능을 특징으로 하는 프리미엄 품질 기계 공급업체로서 힘들게 얻은 명성을 얻었습니다. 그리고 Monaco는 확실히 이 모든 영역에서도 제공합니다."

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