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레이저 머신 및 시스템

라인빔

LineBeam 시스템은 최고의 수율의 대형 컨트롤 패널에서 LTPS 백플레인을 많이 생산하는 데 사용되는 광학 기술입니다.

최대 Gen 10.5 패널 크기에 약 최대 1500mm 길이의 라인 반대 약력을 제공합니다. 최대 처리량과 최적화를 위해 간략한 축과 긴 축 조정 균질성을 특징으로 합니다. 뛰어난 특징과 높은 피사계열을 다루는 것을 의미합니다.

LineBeam - 몇 가지 주요 성과 지표

308 nm의 단파장에서 단축과 장축 모두에서 우수한 균질성을 제공하는 LineBeam의 상단 복귀약력의 이점을 누리세요.

 

제품 사양

매개 다양

라인 길이(mm)

750 

1000 

1300

1500

빔약력 현상

양축에서 모자 상단면 약력 

초점 냉장고(μm)

±150 

±120

±120 

±120

장축균질도(%)

0.6(2σ) 

단축균질도(%)

0.8(2σ)