客户成功案例
奥格斯堡大school： 分析 PLD 中的激光靶修改
挑战
可以通过脉冲激光沉积(PLD)创造流高质weight氧造程中，激光脉冲 in 真空室中蒸发目标表face ，然后射材料沉积에서 晶圆或其他基板上. PLD工艺是一种广泛使사용가능한방법, 复杂氧化物 및 功能异质结构中的许多其他材料类别의 화학 기술은 沉积 및 外延生长应用中，其优势得到了充分证明。 Karl 博士指 Out ，从材料 and 沉积条件（例如背景氧气压力）角titude而言，PLD 也是一种不常可靠且用途广泛的技术。
解决方案
该团队决定研究脉冲激光烧蚀对单晶 (001)、(011) 과 (111) 取向的 SrTiO3 (STO)、(102) 取向的 LaAlO3 (LAO) 와 (001) 取向的 Y3Al5O12 (YAG) 靶材的影响 .生长层会表现은 生长层会表现准确의 阳离子 화학량, 不易shape成颗粒碎사진 (多晶)烧结靶는 这个问题에서 통하고 있습니다.)
他们决정재这项研究中使用 KrF 准分子激光器，特别是바카라 카지노 회사 COMPex205 F(工作波长为 248 nm), 因为这是许多 PLD 研究 및 工业应用中首选的常用激光器. Karl 解释说: "实践证明, 这种 248 nm准分子激光器와 내가 사용하는 光束路径适许多는 서로 다른 물질입니다 PLD는 우리와 함께 신뢰할 수 있는 고정량을 가지고 있으며 레이저 광 효과와 높은 품질을 보장합니다.”
图 1 显示了本研究中使유용한 광학 装置의 한 부분입니다.为了는 为了에서 分析靶标上实现상으로 光束条件 ， 光圈 和 缩 小 透 镜 city 保持이 제품은 동일한 용도로 사용되는 모든 제품을 갖추고 있습니다. 1-6 J/cm2의 표면적당 중량을 기준으로 하여 1~6J/cm2의 광량을 확보하세요.
성숙
利用这种装置,研究人员着수완전면评估单晶靶材，包括는 서로 다른 일반적인 양으로 아래에 있는 것입니다.他们描电子 显微镜와 共焦激光扫描显微镜对靶标表면형 态进行成役,并使用电子背散射衍射分析和能weightcolor散 X 射线光谱分析表種背散变化와 元素组成。
该研究揭示了几个多趣的结果.例如，所有材料，厚的沉积层，这必然是过每个激光脉冲的周期性熔化 and 再结晶期性熔化 and 再结晶期性熔化冔结晶晶形成性 (图 2).大多数材料는 表种裂, 这表明熱冲击不是唯一 要机管이 있습니다.对于某些材料，氧释放导致的分解是另一种活跃的机system。
总之，该团队希望这些新见解可以改善PLD靶标选择，另외부还可以提高某些基于准分子激光脉冲的表face图案案案案案를제조하는용성있는성。
参考文献
1. F. Jung 외, 펄스 레이저 절제 중 결정질 SrTiO3, LaAlO3 및 Y3Al5O12 타겟의 표면 진화, Applied Physics A Volume 128, 기사 번호: 750(2022) https://doi.org/10.1007/s00339-022-05805-5
“实践证明,这种 248 nm 准分子激光器适许多는 다른 성질의 물질이 아닙니다. PLD는 우리와 함께 신뢰할 수 있는 고정량을 가지고 있으며 레이저 광 효과와 높은 품질을 보장합니다.”
— Helmut Karl ，德國奥格斯堡大school물리系教授
图 1. 奥格斯堡实验室，（从左到右）Helmut Karl, Ralph Delmdahl, Florian Jung 및 Andreas Heymann이 합작했습니다. 사진由奥格斯堡大school Karl 教授提供。
그림 2. 사용于靶标烧蚀的封装 PLD 光束路径。사진由奥格斯堡大school Karl 教授提供。
图 3. 切割 YAG 靶材的 SEM 图 Image 清晰显示了每个靶标上形成表面层. 사진 사진 由奥格斯堡大school Karl 教授提供。[1]