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아우크스부르크 대학교: PLD에서 방향의 수정 사항의 분석
과제
헬무트 칼 가을은 아우크스부르크 대학교(독일)의 실험 참가자들에게 나노스케일이라면서 있을 수 있을 뿐입니다. 칼 교수는 조립식 메모리 칩, 연료 전지, 세라믹 축전기와 같은 고급 장치에서 활용 가능한 다양한 생존 및 전기적 위치를 차지한 것이 자신의 팀이 흥미로운 점이 있다고 말했습니다.
레스토이저 표시법(PLD)은 진열대를 생성할 수 있으며, 투명하고 바깥쪽의 표면을 가지고 있는 물질은 테이프, 정도 또는 다른 곳에 전시됩니다. PLD 프로세스는 이종 구조에서 조립 뼈대 및 다양한 재료 등급의 화학양론적 표시 및 에피택셜에 적합하다는 것이 이미 입증된 프레임워크가 있다는 것입니다. 칼 교수는 PLD가 재료와 반응하는 반응(예: 배경 응답 압력), 이 두 가지 면에서 매우 훌륭할 수 있고 다양한 면에서 높은 성능을 자랑하는 기술이라고 말했습니다.
아우크스부르크 기둥에 남아있는 수많은 연구에서도 PLD 라이브러리의 임시 결과, 즉 기둥된 베이스의 구성 및 라이브러리에 대한 조사가 이루어졌습니다. 하지만, 레이더의 초기 부분, 즉 레이더와 측면 간력개에 의한 항체 작용에 대한 조사는 많이 존재하지 않습니다. 손잡이와 그의 동료 교수들은 여러 조립 조립체의 단결정이 있고, 반복적으로 반대쪽으로 이동하는 방향에 차이가 존재하고 방향에 적중된 플루언스(on-target)가 있을 때 제거할 수 있는 결합 조사하여 이 어른들을 해결하기로 결정합니다. 이를 위해 독감언을 변경하면서 크기와 형태를 유지하는 최적화된 PLD 최적의 조정이 개발되었습니다[1].
솔루션
그의 팀은 단 결정 (001), (011) 및 (111) 공용 방향 SrTiO3(STO), (102) 방향성을 관리하기 위해 LaAlO3(LAO) 및 (001) 방향성을 위해 Y3Al5O12(YAG) 서쪽에 대한 운동을 연구하기로 결정했습니다. 결정을 선택하는 이유는 PLD에 의한 성장층이 존재하지 않고 화학양론을 사용하지 않기 때문에, 다결정 소결체에서 자주 문제가 되는 대응 구성에 덜하고 정의된 표면 조건을 제공하기 때문입니다.
이들은 이 연구에서 KrF 엑시머 무기입니다248nm에서 동작하는 바카라 카지노 COMPex205 F를 사용하기로 결정했습니다. 많은 PLD 연구 및 산업 응용 분야에 선호되는 사용자용 레이저이기 때문입니다. 하이테크 에너지는 하이브리드 플루언스부터 높은 플루언스까지의 높은 범위를 지원하는 750mJ에서 상대적으로 가치가 높습니다. 칼은 "이러한 248nm 엑시머 하이얼과 팀의 관계 손잡이가 다양한 PLD에 적합하다는 사실을 입증하고, 의미 있는 정량적인 연구에 필요한 균질 성과를 제공함으로써"고 설명했습니다.
그림 1은 본 연구에서 사용된 배열의 일부를 보여줍니다. 분석을 반사하는 것에 대한 동일한 조건을 맞추기 위해 유공용 렌즈(조리개 렌즈)와 허브 렌즈를 모두 고정된 위치에 보관하는 원격에서 에너지를 연속적으로 조정하기 위해 합금 감쇠기(전유전체 감쇠기)가 사용 가능했습니다. 톱니바퀴 스폿 소형에서 1~6J/cm2의 후방 표면의 독감언스가 발생할 수 있습니다.
결과
이러한 배열을 통해 연구원들은 다양한 플루언스에서 펄스의 다양한 짧은 시퀀스 후에 형태, 산소 손실 및 균열 형성 측면에서 단결정 타겟을 종합적으로 평가하기 시작했다. 표적 표면 형태는 원자력, 주사 전자 현미경, 공초점 레이저 주사 현미경으로 관찰한 것이다. 전자후방산란회절의 분석법 및 에너지 분산 X-선 분광학이 표면 및 원소 조성의 결정학적 변화를 분석하기 위해 사용되었다.
그 연구는 몇 가지 흥미로운 결과를 보여줍니다. 예를 들면, 모든 재료에 대해 단일 재료에 의해 관리되는 각화 및 재결정화를 통해 형성해야 하기 때문에 nm 두께의 베이스가 있을 것입니다(그림 2). 대부분의 재료는 열충격성을 중요하게 여기는 존재를 보여주는 방식으로 표면에 균열을 형성합니다. 열팽창창으로 변형 변형 중요한 역할을 합니다. 그리고 일부 물질의 경우 제거하기 위해 또 다른 활동이다.
정리해보자면, 그의 팀은 이러한 새로운 지식이 엑시머 입체에 기반을 둔 특정 표면 패터닝 응용 분야의 성능의 끌어올리기를 끌어내는 추가적 즐거움뿐 아니라PLD에 비해 훨씬 더 소중한 것을 빼낼 수 있어 이점을 제공하기를 기대합니다.
참고문헌
1. F. Jung 등, 펄스 레이저 절제 중 결정질 SrTiO3, LaAlO3 및 Y3Al5O12 타겟의 표면 진화, Applied Physics A Vol. 128, 논문번호: 750 (2022) https://doi.org/10.1007/s00339-022-05805-5
"이 248nm 엑시머 레이저는 다양한 산화물의 PLD에 적합함이 입증되었고 의미 있는 정량적 연구를 진행하는 데 필요한 빔 균질성 및 높은 펄스-대-펄스 안정성을 제공하여 준다."
— 독일 아우크스부르크 투표대상과의 헬무트 칼(Helmut Karl) 교수
그림 1.( 거리부터) 칼 헬무트(Helmut Karl), 랄프 나프다흐(Ralph Delmdahl), 플로리안 정(Florian Jung),드레 안아스 헤이만(Andreas Heymann)과 함께 아우크스부르크 실험실 사진 사진 제공: 아우크스부르크 대학의 칼(Karl) 교수
그림 2.표적 도난개에 사용하는 패치형 PLD 광학 각도 조정의 위치. 사진 제공: 아우크스부르크 대학의 칼(Karl) 교수
그림 3.절개된 YAG 측면의 SEM 이미지에는 모든 측면에서 새로운 표면층이 보이는 것처럼 보입니다. 사진 제공: [1] 아우크스부르크 대학의 칼(Karl) 교수