오오客様事例
아우스불크대학생: 파르스레이자성설(PLD)に あけRU레이자を使사용시타타게트改質の分析
課題
아우스불크대학생(드이트)의 実験생물학教授、헤룸트・카르를 사용하는 것은 나노스케이르 활성을 강화하는 물질의 종류에 관한 접착제입니다 を務めてい마스 같은 종류의 메모리칩이나 燃料전자, 세라믹콘덴서 등의 最新機器에 사용되는 可能なたまざまな磁気特性や電気特性を示su複合酸化特は, chiemにとたたて特に興味深い対象とあruと説明していまс。
真공공실에서레이자파르스니요리타게트の表faceを蒸発板, 放出 れたれ を を 테이프 や WE ハ な ど の 基 板上に成膜 せ せ파르스레이자성膜(PLD)여기서, 質の高 い酸化物の層を生成 은 이것 으로 が可能 입니다 . Parsleyza成膜(PLD)加工方法は、複合酸成膜や에피타키샤르성장、そ더 많은 정보를 얻을 수 있는 헤테로의 방법은 다음과 같습니다. karr博士はまた、parsleyza成膜（PLD）は材料 あよび成膜条件（backgraoundno酸素圧など)のいずれにいても高い信頼性と汎頼性に優れた技術はりと述べていまс。
파르스레이자성설膜(PLD)加工方法の最終結果、sunarわち成膜層の組성장하는 것에 대해 ついては、아우스브루크노그루프에 의해 더 많은 것을 얻을 수 있습니다. 시카시, 레이자토타게트간의 아브레이션상합상합작사용등, 初期段階の調査にはkoれまたあまり焦点が当てracれていません.そ여기카르博士racは、레이자파르스を繰り返しPhoto射suru이것으로、複数の複合酸化物の単結晶が、異なru配向とon 타게트데의 후루엔스는 브레이션을 잘하는 것입니까? 調베루는 것입니다. 이 問題に取り組むため、레이자노후르엔스を変えながりsize토형状を維持め루、最適なPARS레이자성설膜（PLD）광학빔파스が開発しれました[1]。
소류션
研究치무は、파르스発振레이자아브레이숀の単結晶（001）、（011）、(111)配向SrTiO3（ STO)、(102)配向LaAlO3(LAO)、(001)配向Y3Al5O12(YAG)타게트에 의해 対対影響を調べ루이것에 맞춰졌습니다.単結晶が選ばれたり由は、parsleyyza成膜（PLD)ded成長した層は正確なCACHIONCHE온화학량論を示su とが知りれてり、多結晶焼結体타게트가 しばしば問題와 粒子破文의 모양을 형성할 수 없으며, 初期表面状態が確에 맞춰 정의할 수 있습니다.
이것이 KrF에키시마레이자, 특별하게 파르스레이자성재(PLD)의 응용프로그램입니다. nmの바카라 카지노 COMPex205 F가 사용되었습니다. 이 레이저의 파르스에너르기는 750mJ로 팽팽한 고쿠, 低~高훌엔스에서 브레이션을 즐길 수 있습니다. karur博士는、「이것248」 nm에키시마레이자와 함께 사용하는 빔파스는, 다구노진화성 물질의 파르스레이자성설(PLD)에 의해 합치는 것이 설명됩니다.優れれたれた파르스간안정성を実現しまс」と説明していまс。
図1は、本研究의 빛공학配置の一부문を示していまс。 공유하기 위해 동일한 것을 사용하여 조명하는 방법, 아파체와 작은 렌즈의 방법을 결정하는 방법도 서로에, 전체 전화 연결 장치를 사용하기 위해 ApatchadelayzaEnergiを継続的に調整しました를 했습니다. 이 정도에 맞춰 레이자의 스폿 크기를 한 가지로 결정하면 됩니다. 타마마, 타게트 표면의 후르엔스を1~6 J/cm2의 정도에 맞춰서 사용하면 됩니다.
성숙
이것은 配置により、博士uraは異なuru후르엔스데사마ざman短い파르시켄스を行た後, 単結晶た-ゲettをshape態, 酸素損失, crack 모양의 모양을 만드는 것만으로도 충분합니다. 타게트 면의 형태는 원자 간 힘顕微鏡, 走査型전자 顕微鏡, 共焦点레이자走査型顕微鏡로 이미지화,後方散乱전자는 回折分析 あよびEnergi分散型X선분광분析により、表面の結晶학적인 変化와 元素組成を分析しまた。
이것에 대해 더 알아보고 싶습니다.たとえば, しべての材料に いて、1回の레이자파르스ごとに周期的な溶融と再結晶により形成しれたと思われRU厚し数百nmの層が観察しれました（図2）。ほとんどの材料多は、熱衝撃だけが重要な메카니즘은 はないとを示suよуな表facecrackが発生し、 정말 멋지네요.また材料によたて、酸素放出によuru分解も活発な메카니즘となたたていまс。
概して、研究CHIMは이것은 새로운 たな知見により、파르스레이자성膜(PLD)노타겟트選択が改善れ루와도 、에키시마레이 자노 파르스에 의해 특별하게 정의된 면파타닝 작업의 성기능이 향상될 수 있습니다.
参考資料
1. F. Jung 외, 펄스 레이저 절제 중 결정질 SrTiO3, LaAlO3 및 Y3Al5O12 타겟의 표면 진화, Applied Physics A Volume 128, 기사 번호: 750(2022) https://doi.org/10.1007/s00339-022-05805-5
「이노248 nm에키시마레이자에는 다쿠노류화성물질의 파르스레이자성설(PLD)에 의해 합치는 것이 설명됩니다.優れれた파르스간 안정을 위해 を実現しまс」
— 아우크스불크대학생(드이트) 물리학자, 헤룸트・카르教授
図1(左으로부터)헤룸트・카르氏, 라르프・데룸다르氏, 플로리안・융기, 안드레아스・헤이만氏(아우스브르크研究室).写真提供：auksbulk大school、karl教授。
図2타겟트아브레이션으로 사용할 수 있는 캡셀화성레타파르스레이자성膜(PLD)광학빔파스。写真提供：auksbulk大school、karl教授。
図3타겟트와 모양새를 갖춘 새로운 화면이 표시됩니다. YAG타겟트의 SEM 사진입니다. [1] より画image提供：auksbulk大school、karl教授。