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레이자마신토시스템

라인빔

LineBeam 시스템은 は、高実現빛학술학技術。 

대형 Gen 10.5의 파네르사이즈에 맞춰 크기가 1500mm 길이의 라인빔프로파이르를 제공합니다.短長軸빔의 크기는 が均一로, 스루풋트와 빔으로 사용됩니다.

LineBeam - 主な빠포만스指標

LineBeam은 빔이 시르크핫트형 분할 방식으로, сべて308 nm의 短波長ながり, 短長軸の両方으로 優れた均性一を実現しまс。

 

製product仕様

파라메이타

数値

라인길이(mm)

750 

1000 

1300

1500

빔프로파일의 종 

両軸に沿たて실크핫트형분리 

焦点深도(μm)

±150 

±120

±120 

±120

장신빔의 強道均一性(%)

0.6(2σ) 

短軸均一性(%)

0.8(2σ)