메이저 바카라사이트 장난감基板とエピタキシー

메이저 바카라사이트 장난감エピタキシー

直径200mmまでのCoherent製高性能메이저 바카라사이트 장난감エピタキシャルウェーハ上に構築することにより、市場投入までの時間を短縮し、コストを削減して、デバイス性能を向上させます。

Coherentは、バッファー付きまたはバッファーなしの厚膜エピレイヤー、低ドープ層、多層構造、pn接合、はめ込み/埋め込み構造、コンタクト層のオプションにより、総合的なSiC材料메이저 바카라사이트 장난감を提供します。研究開発から量産までサポートします。

메이저 바카라사이트 장난감エピタキシー機能のハイライト

最先端の메이저 바카라사이트 장난감エピタキシー技術

  • 効率的なバッファ層技術による記録的な低欠陥密度

  • 成長開始時の結晶欠陥の核形成を防止 

  • BPDからTEDへの変換率 99.8% → 1 BPD/cm2

  • バイポーラ메이저 바카라사이트 장난감デバイス技術を実現

 

LPE PE106によるクラス最高の層均一性

  • 調整可能な横方向のガス流 

  • シリコン前駆体としてTCSを使用した、40 µm/hの高い成長速度 

  • 150 μm以上の厚膜成長 

  • 1×1014/cm3の低ドーピング濃度

  • 15 kV超の메이저 바카라사이트 장난감デバイス技術を実現