바카라사이트 장난감基板とエピタキシー
RF바카라사이트 장난감用SiC
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Coherentは、大口径の半絶縁性바카라사이트 장난감基板開発のパイオニアであり、低電力損失、高周波動作、優れた熱安定性を備えたコンポーネントの製造を可能にする高抵抗材料を提供しています。
半絶縁性シリコンカーバイドの材料特性
Coherentは、お客様がデバイスの性能向上とコスト削減を実現できるよう、継続的に材料の品質を改善し、基板の直径を拡大しています。
半絶縁性炭化ケイ素の材料特性 |
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物理的特性 |
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構造 |
六方晶、単結晶 |
直径 |
最大200 mm |
グ바카라사이트 장난감ド |
プライム、開発、メカニカル |
熱特性 |
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熱伝導率 |
370 (W/mK)、室温 |
熱膨張係数 |
4.5 x 10-6/K |
比熱 (25°C) |
0.71 (J/g°C) |
Coherent 바카라사이트 장난감基板の重要な追加特性 (代表値) |
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パラメータ |
半絶縁性 |
ポリタイプ |
6時間 |
ドーパント |
バナジウム |
抵抗率 |
1019 Ohm-cm |
向き |
軸上 |
粗さ、Ra |
<5Å |
転位密度 |
< 10,000 cm-2 |
マイクロパイプ密度 |
< 10cm-2 |
